COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 

專為在動態(tài)負載下實現(xiàn)最高穩(wěn)定性而設計。

cito Plus 提供脈沖質量、穩(wěn)定性和功率測量精度，使其成為等離子體沉積和蝕刻應用以及非半導體應用的選擇。

正常運行時間長 - 專注于吞吐量和降低運營成本

精度、可重復性和穩(wěn)定性的價值 - 滿足您的工藝要求

更高的電源效率 - 更好的經(jīng)濟性和環(huán)保型

cito Plus系列特征

對稱開環(huán)響應

高精度功率控制

脈沖高達 100 kHz；

具有可變相位延遲的 CEX

CEX 輸出分頻器

符合 SEMI 標準

cito Plus系列好處

可預測的等離子體行為

輕松的系統(tǒng)集成

可重復的晶圓結果

在任何電纜長度下都能保持穩(wěn)定

在任何負載下均具有出色的脈沖形狀

與大多數(shù)生產(chǎn)設備兼容

citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技術參數(shù)

訂貨號 64001035 

系列cito Plus 

頻率13.56 MHz

射頻功率600 瓦

脈沖是的

前面板積極

現(xiàn)場總線沒有

模擬接口25 針

匹配網(wǎng)絡接口AGS 系列

交流輸入187 至 265 VAC 

冷卻空氣

射頻輸出連接器N 型

COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP